Элипсометрия была разработана в качестве методики по изучению эффекта эллиптической поляризации, которая возникала в процессе наложения перпендикулярного светового потока. В 1944 году его основателем стал знаменитый ученый Ротен. Точная информация рассчитывается по принципу разложения светового потока, то есть волны, в отраженном состоянии.
До разработки современного варианта устройства, эллипсоиды в те времена имели ламповый принцип работы. Однако позже появились и лазерные измерительные аппараты. Уже сегодня в таких инструментах по измерению стала применяться светодиодная подсветка, благодаря которым, кроме плоскостных измерений, можно без проблем проводить и угловые замеры.
Лазерные и спектроскопические элипсометры
Данные приборы предназначаются для выполнения многих задач в сфере метрологии тонких пленок. Элипсометры лазерные и спектроскопические используются для измерения толщины однослойных и многослойных пленок, а также для определения коэффициента пропускания, затухания, отражения, индекса преломления. Такими приборами измеряется также показатель шероховатости при использовании меппинга.
В метрологии пленочных структур для определения и анализа их оптических характеристик используются следующие устройства:
- элипсометры лазерные (длина волны – 632,8 нм);
- элипсометры спектроскопические UV-VIS, UV-VIS-NIR (длина волны – 190 нм – 2500 нм);
- ИК-фурье элипсометры (1666 нм – 25000 нм);
- рефлектометры (240 – 950 нм.)
В какой сфере применяются элипсометры?
Эллипсометрия чаще используется в процессе проведения научных разработок и в промышленной сфере. Данная методика обнаружения переходного тонкого слоя на той границе, где взаимодействуют разные среды, устанавливает уровень абсорбции жидкостей, степень коррозии металлических поверхностей и содействует определению других процессов, которые влияют на изменение определенных показателей и характеристик промышленных сред.
Принцип работы лазерных элипсомеров основывается на принципах переломления лазерного потока. С их помощью быстро и наиболее точно устанaвливается степень изменения в разных слоях вещества любого типа. Управление устройства не требует сложных подготовительных процессов для начала работ и довольно просто в управлении. Прибор предназначен для работы как в лабораториях, так и на промышленных предприятиях.
